VSM-4000-MICRO-SCAN-3D 测量MEMS系统的3D动态特性及形貌特性

表面形貌、动态特性分析及可视化是显微结构（如MEMS器件）进行测试和开发的关键。这对于验证有限元算法、确定串扰影响和测量表面形变等都至关重要。

基于MEMS系统的一体化光学测量解决方案

基于MEMS系统的VSM-4000-MICRO-SCAN-3D 显微式激光测振仪，集多种测量功能于一体，其不仅能测量面内振动和面外振动，还能测量表面形貌。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。

高性能激光多普勒测振仪能快速进行实时测量，位移分辨率达亚pm级。白光干涉仪可以在几秒钟内提供数以百万计的三维表面形貌数据。VSM-4000-MICRO-SCAN-3D 的用户界面直观，操作简便，是一款用于研究、开发和质量控制的功能强大的光学测量系统。系统易于集成至常见的商用探针台上，从MEMS原型设计到测试和故障排除，其能在各个开发阶段给您提供帮助，从而降低生产成本并缩短产品上市时间。

专用于显微结构的一体化光学测量工作站

真正的实时测量（无需数据后处理）

亚pm级的位移分辨率

快速测量，振型可视化

操作简便、直观

自动化测试系统，易于集成至探针台

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